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沉积条件对SiO2光子晶体表面形貌的影响
引用本文:闫刚印,杭联茂,孟江,赵亚妮,何磊.沉积条件对SiO2光子晶体表面形貌的影响[J].硅酸盐通报,2015,34(4):1127-1132.
作者姓名:闫刚印  杭联茂  孟江  赵亚妮  何磊
作者单位:西藏民族学院西藏自治区光信息处理与可视化技术重点实验室,咸阳712082;兰州大学物理科学与技术学院,兰州730000;西藏民族学院西藏自治区光信息处理与可视化技术重点实验室,咸阳,712082
基金项目:西藏自治区自然科学基金%西藏民族学院青年学人培育计划(15MYQP05)
摘    要:自组装制备是一种常用的三维光子晶体制备方法,在制备光子晶体过程中影响薄膜质量的因素较多.本研究对原始的双基片垂直沉积法进行了一定的改进,控制光照强弱、蒸发速度快慢等条件,沉积了不同的SiO2光子晶体薄膜样品.通过与单基片垂直沉积法得到的薄膜样品进行比较,得到了双基片垂直沉积法沉积光子晶体薄膜样品的最优实验条件.

关 键 词:光子晶体  自组装  双基片垂直沉积  

Influence of Deposition Conditions on Surface Morphology of SiO2 Photonic Crystal
YAN Gang-Yin,HANG Lian-Mao,MENG Jiang,ZHAO Ya-Ni,HE Lei.Influence of Deposition Conditions on Surface Morphology of SiO2 Photonic Crystal[J].Bulletin of the Chinese Ceramic Society,2015,34(4):1127-1132.
Authors:YAN Gang-Yin  HANG Lian-Mao  MENG Jiang  ZHAO Ya-Ni  HE Lei
Abstract:
Keywords:photonic crystal  self assembled  two-substrate vertical deposition  
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