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| 使用Fluke 2635T校准仪自校EM电炉温度的新方法 | |
| 引用本文： | 马瑾怡,王邕保,张荣哲,陈祯祥,简维廷.使用Fluke 2635T校准仪自校EM电炉温度的新方法[J].上海计量测试,2008,35(6):37-38. |
| 作者姓名： | 马瑾怡 王邕保 张荣哲 陈祯祥 简维廷 |
| 作者单位： | 中芯国际集成电路 |
| 摘 要： | 1 引言
电迁移（Electro—migration，EM）是半导体元件可靠性检验的一项重要测试。在EM测试时，一般要使用电炉加温，以取得强化压迫（Highly Stressed）测试条件下的温度读数（150℃-350℃）和电流量的常数（〈80m A）。每一次EM强化测试通常要持续数周之久，为了保证读取的数据正确，其中必须对电炉的测温仪表进行周期校准。 |
| 关 键 词： | 校准仪 FLUKE 电炉 EM 温度 测试条件 自校 可靠性检验 |
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