封闭NH_3气氛热处理制备二氧化钒热致变色薄膜（英文）

采用聚合物凝胶法和封闭NH3气氛热处理(防止VO_2被氧化成V2O5)在石英玻璃衬底上制备了VO_2热致变色薄膜。XRD分析、拉曼分析、FESEM形貌和光学性能结果表明:退火温度对VO_2薄膜的微观结构起关键影响作用。随着温度从450°C升高到550°C,薄膜中晶粒生长,晶粒尺寸增加,晶界增多。温度过高时(550°C),晶粒尺寸较大且不连续,导致热调节性能下降。该实验的最优退火温度为500°C(?T_(sol)=10.4%,T_(lum)约29.0%)。