| 热处理对微型磁致伸缩材料传感器磁性能的影响 |
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| 引用本文： | 胡佳佳,叶雪梅,胡静. 热处理对微型磁致伸缩材料传感器磁性能的影响[J]. 江苏工业学院学报, 2015, 27(2) |
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| 作者姓名： | 胡佳佳 叶雪梅 胡静 |
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| 作者单位： | 1. 常州大学材料科学与工程学院,江苏常州213164;奥本大学材料系,阿拉巴马奥本36849
2. 常州大学材料科学与工程学院,江苏常州,213164 |
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| 摘 要： | 采用MEMS技术制备了尺寸为500μm×100μm×15μm的微尺度磁致伸缩材料传感器,发现MEMS技术沉积过程中传感器内部不可避免地产生了内应力,对传感器磁性能带来不利影响.对徽尺度磁致伸缩材料传感器进行真空热处理,旨在消除内应力,进一步提高传感器磁学性能.结果表明:真空退火可减小或消除传感器内应力,提高磁学性能,其中最佳退火温度为250℃,时间为2h.该温度下退火不仅可完全释放传感器内应力,还可以改善波谱质量,提高共振频率.
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| 关 键 词： | 磁致伸缩材料 传感器 MEMS 退火 内应力 |
Effect of Annealing on the Performance of Microscale Magnetostrictive Sensors |
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| HU Jia-jia,YE Xue-mei,HU Jing. Effect of Annealing on the Performance of Microscale Magnetostrictive Sensors[J]. Journal of Jiangsu Polytechnic University, 2015, 27(2) |
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| Authors: | HU Jia-jia YE Xue-mei HU Jing |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | magnetostrictive materials sensors MEMS annealing internal stresses |
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