多功能电子束曝光机数字控制器

本文介绍一个用于电子束曝光机的数字控制装置,它配备DJS130电子计算机标准接口,不但对电子束曝光机的束点偏移、束闸通断、工作台运动等必要部分进行控制,而且大大增加了图形扫描和工作台定位控制方式,从而可以提高加工精度和速度,此外还设计了一些试验性的控制功能,从而为电子束曝光机的进一步研究提供了方便。