溶胶-凝胶法制备K-N共掺ZnO薄膜的结构及光学特性 |
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作者姓名: | 张振兴 张海军 廖梦舟 周 华 谢二庆 潘孝军 |
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作者单位: | (兰州大学 物理科学与技术学院;甘肃 兰州730000) |
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基金项目: | 甘肃省自然科学基金资助项目(1107RJYA280,1208RJYA021) |
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摘 要: | 采用溶胶-凝胶法在Si(100)衬底上生长了K与N共掺的ZnO薄膜,并用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、荧光分光光度计、紫外-可见分光光度计对ZnO薄膜样品的结构和光学特性进行了研究。结果表明,溶胶-凝胶法制备的ZnO薄膜为六方纤锌矿结构。随着K掺杂浓度的增大,薄膜的结晶性变好,组成薄膜的颗粒变大,并表现出c轴择优生长特性,同时掺杂导致的氧空位缺陷也在增加,使得绿光发射增强,薄膜的光学带隙先增后减。
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关 键 词: | ZnO薄膜 K-N共掺杂 光学带隙 光致发光谱 溶胶-凝胶法 |
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