钇梯度掺杂Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜的sol-gel法制备及介电性能 |
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引用本文: | 李嶷云,廖家轩,张高俊,王滨,徐从玉,张宝.钇梯度掺杂Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜的sol-gel法制备及介电性能[J].稀有金属材料与工程,2013(Z1):100-102. |
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作者姓名: | 李嶷云 廖家轩 张高俊 王滨 徐从玉 张宝 |
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作者单位: | 电子科技大学 |
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基金项目: | 国家自然科学基金(51172034);中央高校基本科研业务费专项资金(ZYGX2009X018);电子科技大学中青年学术带头人培养基金(Y02018023601053) |
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摘 要: | 用改进的溶胶-凝胶法(sol-gel)在Pt/Ti/SiO2/Si(S)上制备了各层Y掺杂浓度分别为0.5%/0.6%/0.7%/0.8%/0.9%/1%的上梯度掺杂和1%/0.9%/0.8%/0.7%/0.6%/0.5%下梯度掺杂的Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜。X射线衍射(XRD)表明,各薄膜主要沿(110)晶面生长,均为立方钙钛矿结构。相比均匀掺杂薄膜,梯度掺杂薄膜表现出较好的相结构衍射强度及晶化,上梯度薄膜更为显著。原子力显微镜(AFM)表明,梯度掺杂使薄膜的表面形貌得到极大改善,上梯度比下梯度薄膜具有更加光滑致密的表面相貌和更小的表面粗糙度。电压-电容曲线表明,上梯度薄膜介电性能得到明显提高,在零偏压下的电容为28.5pF(介电常数190)、介电损耗为1.63%及40V下的调谐率为52.3%,优质因子为32。
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关 键 词: | 钇梯度掺杂 钛酸锶钡薄膜 溶胶-凝胶法 介电性能 |
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