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| 用化学气相沉积方法在石墨表面沉积钨涂层的研究 | |
| 引用本文： | 刘高建,杜继红,李争显,周慧. 用化学气相沉积方法在石墨表面沉积钨涂层的研究[J]. 稀有金属快报, 2005, 24(3): 28-30 |
| 作者姓名： | 刘高建 杜继红 李争显 周慧 |
| 作者单位： | 西北有色金属研究院,陕西,西安,710016 |
| 摘 要： | 研究了在一定温度的石墨基体表面上用化学气相沉积钨涂层的方法。通过调节氢气、氯气的气流量，控制流量比，得到了具有一定厚度、晶粒均匀致密的钨涂层，并对试验中仍需解决的问题做了讨论。 |
| 关 键 词： | 钨涂层 表面沉积 化学气相沉积方法 基体 晶粒 石墨 厚度 氢气 氯气 研究 |
Study of Tungsten Coating Deposited on Graphite by CVD |
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| Abstract: | |
| Keywords: | |
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