| 1kPa 微机械结构微压传感器的研究 |
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| 引用本文： | 吴宪平,胡美凤,罗桂隆,龚凤英. 1kPa 微机械结构微压传感器的研究[J]. 仪表技术与传感器, 1998, 0(4) |
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| 作者姓名： | 吴宪平 胡美凤 罗桂隆 龚凤英 |
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| 作者单位： | 复旦大学电子工程系 |
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| 摘 要： | 本文报道一种量程为１ｋＰａ的扩散硅微机械结构微压传感器。实现了高灵敏度微压传感器的非线性内补偿和强过载保护以及高共振频率，分析研究了最佳条件。微压传感器的非线性为０．１％ＦＳ，其过载保护能力已超过５００倍满程压力，共振频率为９ｋＨｚ。
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| 关 键 词： | 微机械 微压 传感器 |
A Study on 1kPa Low-pressure Sensor with a Micromachining Structure |
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| Wu Xiangping Hu Meifeng,Luo Guilong Dept.of Electronic Engineering,Fudan University,Shanghai,.. A Study on 1kPa Low-pressure Sensor with a Micromachining Structure[J]. Instrument Technique and Sensor, 1998, 0(4) |
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| Authors: | Wu Xiangping Hu Meifeng Luo Guilong Dept.of Electronic Engineering Fudan University Shanghai . |
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| Affiliation: | Wu Xiangping Hu Meifeng,Luo Guilong Dept.of Electronic Engineering,Fudan University,Shanghai,200433. |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Micromachining Low-pressure Sensor. |
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