| 以环戊二烯为碳源制备类富勒烯结构碳基薄膜的结构及力学性能 |
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| 引用本文： | 张庆堂,吴坤尧,龚珍彬,张斌,张俊彦.以环戊二烯为碳源制备类富勒烯结构碳基薄膜的结构及力学性能[J].中国表面工程,2014,27(4):89-94. |
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| 作者姓名： | 张庆堂 吴坤尧 龚珍彬 张斌 张俊彦 |
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| 作者单位： | 1. 兰州理工大学 石油化工学院， 兰州 730050； 2. 中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室， 兰州 730000 |
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| 摘 要： | 以环戊二烯为碳源，采用等离子体增强化学气相沉积法（PECVD）在Si单晶〈n100〉面上制备了类金刚石薄膜。采用FEI Tecnai F30型高分辨透射电镜（HRTEM）和LAMRAM HR 800型拉曼光谱仪对薄膜及磨屑的结构进行表征；利用MFTR4000摩擦磨损试验机、Hysitron Ti950型原位纳米力学测试系统考察薄膜的摩擦学及力学性能。结果表明： 所制备的金刚石薄膜具有富勒烯纳米团簇/非晶复合纳米结构，在磨屑中也出现了这种稳定的片层结构从而起到了良好的减摩作用；并且薄膜表现出优异的力学性能和摩擦学性能： 其硬度为26.8 GPa、弹性回复为85%、摩擦因数为0.01。由于这种特殊纳米结构的存在，使得薄膜的力学性能及摩擦学性能显著提高。
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| 关 键 词： | 环戊二烯 碳基薄膜 力学性能 摩擦学性能 |
Structure and Mechanical Behavior of Fullerene-like Carbon Films Using Cyclopentadiene as Carbon Source |
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| ZHANG Qingtang,WU Kunyao,GONG Zhenbin,ZHANG Bin,ZHANG Junyan.Structure and Mechanical Behavior of Fullerene-like Carbon Films Using Cyclopentadiene as Carbon Source[J].China Surface Engineering,2014,27(4):89-94. |
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| Authors: | ZHANG Qingtang WU Kunyao GONG Zhenbin ZHANG Bin ZHANG Junyan |
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| Affiliation: | 1. School of Petrochemical Engineering, Lanzhou University of Technology, Lanzhou 730050; 2. State Key Laboratory of Solid Lubrication, Lanzhou Institute of Chemical Physics, Chinese Academy of Sciences, Lanzhou 730000 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | cyclopentadiene carbonbased film mechanical property tribological property |
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