|
|||||
|
|
| 陶瓷压阻式压力传感器的研制 | |
| 引用本文： | 郭益平,石汝军,翟鹏.陶瓷压阻式压力传感器的研制[J].传感器与微系统,1999,18(6):45-46,53. |
| 作者姓名： | 郭益平 石汝军 翟鹏 |
| 作者单位： | 山东省硅酸盐研究设计院!淄博255086 |
| 摘 要： | 介绍了一种采用陶瓷基座、陶瓷膜片制备的压力传感器。它以陶瓷膜片为受载弹性体，利用厚膜电阻的压阻效应，以厚膜工艺技术制得性能优良，价格低廉的陶瓷压阻式压力传感器。使压力传感器的应用范围进一步拓宽。 |
| 关 键 词： | 压力传感器 陶瓷 厚膜电阻 压阻效应 |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ | |