“微电子工艺技术”课程教学改革创新与实践

作为集成电路产业的核心环节,微电子工艺技术决定着集成电路制备的特征尺寸,也是一个国家综合实力和科技水平的集中体现。本课程改革以“立德树人”和“新工科”理念为指导,以学生为中心,优化“微电子工艺技术”课程知识体系结构,将虚拟仿真、项目式教学和校企协作育人等教学模式有机融入课程体系建设,构建链条式的课程知识地图和由价值观塑造、知识传授和能力培养组成的闭合回路,提升学生知识应用和工程实践能力,培养专业责任感和家国情怀。整合各方优势资源,打破了传统观念束缚和时空限制,推进现代信息技术和产业与微电子工艺教学的深度融合。项目成果为微电子专业课程建设和人才培养提供了一定的参考。