| 基于田口法的石英玻璃剪切增稠抛光工艺参数优化 |
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| 引用本文： | 邵琦,邵蓝樱,吕冰海,赵萍,王金虎,袁巨龙.基于田口法的石英玻璃剪切增稠抛光工艺参数优化[J].表面技术,2021,50(12):85-93. |
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| 作者姓名： | 邵琦 邵蓝樱 吕冰海 赵萍 王金虎 袁巨龙 |
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| 作者单位： | 浙江工业大学 超精密加工研究中心,杭州 310014 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(51775508，51805484);浙江省自然科学基金(LR17E050002) |
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| 摘 要： | 目的 研究石英玻璃剪切增稠抛光(STP)过程中,不同抛光参数对材料去除率及表面粗糙度的影响,提高石英玻璃表面质量,并优化工艺参数.方法 基于田口法设计实验,以材料去除率、表面粗糙度为评价指标,分析抛光速度、磨粒浓度和抛光液pH值三个关键参数对石英玻璃STP抛光效果的影响.通过信噪比评估实验结果,采用方差分析(ANOVA)法计算各因素的权重,并得出最优工艺参数组合.结果 抛光液pH值对Sa的影响最大(41.85％),其次是磨粒浓度(39.06％)和抛光速度(19.09％).磨粒浓度对材料去除率(MRR)的影响最显著(63.78％),其次是抛光速度(28.81％)和抛光液pH值(7.41％).在优选的抛光参数组合(抛光速度100 r/min,磨粒质量分数12％,抛光液pH=8)下,石英玻璃在抛光8 min后,表面粗糙度Sa从(110±10)nm降低到(1.2±0.3)nm,MRR达到165.2 nm/min.结论 在优化工艺参数下进行剪切增稠抛光,可有效去除石英玻璃表面划痕,提高石英玻璃表面质量.剪切增稠抛光可应用于石英玻璃平面及曲面抛光.
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| 关 键 词： | 石英玻璃 剪切增稠抛光 材料去除率 表面粗糙度 田口法 |
| 收稿时间： | 2021/9/2 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2021/11/3 0:00:00 |
Parameter Optimization by Taguchi Method for Shear Thickening Polishing Process of Quartz Glass |
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| SHAO Qi,SHAO Lan-ying,LYU Bing-hai,ZHAO Ping,WANG Jin-hu,YUAN Ju-long.Parameter Optimization by Taguchi Method for Shear Thickening Polishing Process of Quartz Glass[J].Surface Technology,2021,50(12):85-93. |
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| Authors: | SHAO Qi SHAO Lan-ying LYU Bing-hai ZHAO Ping WANG Jin-hu YUAN Ju-long |
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| Affiliation: | Ultra-precision Machining Center, Zhejiang University of Technology, Hangzhou 310014, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | quartz glass shear thickening polishing material removal rate surface roughness taguchi method |
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