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| 一种可见光波长拓展型InGaAs焦平面探测器 | |
| 作者姓名： | 莫才平 陈扬 张圆圆 柳聪 卢杰 兰逸君 唐艳 |
| 作者单位： | 重庆光电技术研究所,重庆400060 |
| 摘 要： | 背照结构的InGaAs焦平面器件,受其衬底InP的阻挡,对可见光无响应.针对宽光谱探测的应用需求,研制了 一种像元间距为25 μm、阵列规模为640×512的InGaAs焦平面探测器.通过在倒焊互连工艺后,对器件进行干法、湿法相结合的减薄抛光工艺,所得探测器阵列(PDA)芯片最终保留厚度约5 μm,实现了对400～1 700 nm光谱范围内可见光和短波红外光的同时响应,峰值探测率高于8×1012 cm·Hz1/2·W-1,峰值外量子效率超过85％,响应非均匀性优于6％,器件成像效果良好. |
| 关 键 词： | InGaAs 可见-短波红外 阵列规模 焦平面 |
| 收稿时间： | 2021-10-19 |
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