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| 多轴微加速度传感器的进展 | |
| 引用本文： | 刘妤,温志渝,杨红韵. 多轴微加速度传感器的进展[J]. 传感器与微系统, 2007, 26(4): 4-6 |
| 作者姓名： | 刘妤 温志渝 杨红韵 |
| 作者单位： | 1. 重庆工学院,汽车学院,重庆,400050;重庆大学,光电工程学院,重庆,400044 2. 重庆大学,光电工程学院,重庆,400044 3. 重庆工学院,汽车学院,重庆,400050 |
| 摘 要： | 微加速度传感器是微型惯性组合测量系统的核心器件。随着MEMS技术的不断发展,单轴微加速度传感器的技术已日趋成熟,多轴微加速度传感器的研究正成为MEMS领域的热点。基于多轴微加速度传感器典型实例的介绍,评述了近年来该领域的进展,并就其未来的发展作了展望。 |
| 关 键 词： | 微机电系统 微加速度传感器 多轴 |
| 文章编号： | 1000-9787（2007）04-0004-03 |
| 收稿时间： | 2006-10-21 |
| 修稿时间： | 2006-10-21 |
Progress in multi-axis microaccelerometer |
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| LIU Yu,WEN Zhi-yu,YANG Hong-yun. Progress in multi-axis microaccelerometer[J]. Transducer and Microsystem Technology, 2007, 26(4): 4-6 | |
| Authors: | LIU Yu WEN Zhi-yu YANG Hong-yun |
| Affiliation: | 1. Automobile College, Chongqing Institute of Technology, Chongqing 400050, China; 2. College of Opto-Electronic Engineering, Chongqing University, Chongqing 400044, China |
| Abstract: | The microaccelerometer is an important crucial component of micro inertial measurement unit(MIMU).With the development of MEMS technology,technique of the single-axis microaccelerometers is already mature,study on the multi-axis microaccelerometers is becoming the hot issue in MEMS field.Through the introduction of some multi-axis microaccelerometers,new progress and the future trend in this field are discussed. |
| Keywords: | micro-electro-mechanical system(MEMS) microaccelerometer multi-axis |
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