| 大气下空气滑膜阻尼对微机械惯性传感器的影响 |
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| 引用本文： | 董林玺,焦继伟,陈永,王跃林. 大气下空气滑膜阻尼对微机械惯性传感器的影响[J]. 工程设计学报, 2003, 10(5): 271-274 |
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| 作者姓名： | 董林玺 焦继伟 陈永 王跃林 |
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| 作者单位： | 1. 浙江大学,信息与电子工程学系,浙江,杭州,310027;中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050
2. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050 |
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| 基金项目： | 国家"863"计划资助项目(2002AA404410). |
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| 摘 要： | 设计并制作了一种可在大气下工作的栅结构电容式微机械加速度传感器,并对其空气滑膜阻尼特性进行了研究．测试结果表明该种结构机械品质因子Q值在大气压下能达到504．这种具有高Q值的栅形电容检测结构可以应用到微机械陀螺的检测模式,它无需真空封装,可以在大气环境下工作,且灵敏度提高．对陀螺原型的测试结构表明,其在大气下检测模态的Q值可以达到715。
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| 关 键 词： | 滑膜阻尼 电容检测 栅形结构 |
| 文章编号： | 1006-754X(2003)05-0271-04 |
| 修稿时间： | 2003-05-23 |
Effect of air slide-film damping on micromechanical sensor at atmosphere |
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| DONG Lin|xi+{,},JIAO Ji|wei+,CHEN Yong+,WANG Yue|lin+{,}. Effect of air slide-film damping on micromechanical sensor at atmosphere[J]. Journal of Engineering Design, 2003, 10(5): 271-274 |
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| Authors: | DONG Lin|xi+{ } JIAO Ji|wei+ CHEN Yong+ WANG Yue|lin+{ } |
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| Affiliation: | DONG Lin|xi+{1,2},JIAO Ji|wei+2,CHEN Yong+2,WANG Yue|lin+{1,2}, |
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| Abstract: | The authors design and fabricate a new bar capacitive micro-mechanical accelerometer．Its air slide—film damping is studied．The test results indicate that the quality factor Q of the bar structure accelerometer is 504．The bar capacitive testing structure having high Q can be used in the tesing mode of micromechanical gyroscope which is not necessary to be encapsulated in the vacuum ,can work at the atmosphere having high Q．The testing result of the gyroscope having bar structure indicate that the Q can reach 715 in the atmosphere environment． |
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| Keywords: | air slide-ilm damping capacitive test bar structure |
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