多晶硅生产中SiCl_4氢化工艺进展

多晶硅生产方法中,改良西门子法由于安全性好、沉积速率高、纯度较高等优点,成为目前应用最广泛的工艺。其中SiCl_4氢化制备SiHCl_3工艺,是其中一项关键技术,也是多晶硅生产中耗能较多的工序。在国家提倡节能降耗、生态环保的背景下,如何提高SiCl_4氢化转化率,提高产量和质量,降低能耗,意义重大。本文针对这个问题,对目前的各种氢化技术进行了对比研究,发现催化氢化中的氯氢化技术节能降耗最显著,综合指标好,是有前景的氢化技术。