| 非接触玻璃厚度测量系统 |
| |
| 作者姓名： | 吴南寿 黄丽媛 毛文健 韩定安 王茗祎 熊红莲 谭海曙 曾亚光 |
| |
| 作者单位： | 佛山科学技术学院物理与光电工程学院; |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(11474053；61471123；61605026；81601534)；佛山科学技术学院研究生自由探索基金项目(2016LGY03)；佛山科学技术学院大学生创新创业计划(XJ2016102)；广东省大学生创新创业计划(201611847024；201611847096)；广东省大学生"攀登计划"(pdjh2017b0526；pdjh2017b0528；pdjh2017b0533) |
| |
| 摘 要： | 该文研究了一种基于迈克逊干涉仪原理的非接触玻璃厚度测量系统。利用样品前后表面反射回来的探测光与参考臂的反射光发生干涉产生弱干涉信号,并用信号处理模块对弱干涉信号光进行差分放大,再对其进行带通滤波、包络解调等,从而得到玻璃厚度。系统还利用了直线电机控制反射镜实现光程的变化,并对待测物纵向深度信息进行高速循环式探测,从而实现了对玻璃厚度的高速、高精度、循环式测量。该系统适用于平板玻璃、光学镜片等玻璃制品厚度的高精度测量。
|
| 关 键 词： | 非接触 玻璃厚度测量 系统 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ |
|
