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| 超高真空扫描隧道显微镜定位系统的研制 | |
| 引用本文： | 江月山,刘宁.超高真空扫描隧道显微镜定位系统的研制[J].真空,1996(5):20-22. |
| 作者姓名： | 江月山 刘宁 |
| 作者单位： | 东北大学，中国科学院北京真空物理实验室 |
| 摘 要： | 本文介绍了超高真空扫描隧道显微镜（ＵＨＶ－ＳＴＭ）定位系统的设计方法，并对误差进行了分析和修正。定位系统在操作范围为－５６０～＋５６０ｎｍ时的定位精度达到了０．１ｎｍ，该系统性能稳定，运行可靠。达到了设计要求 |
| 关 键 词： | 扫描隧道显微镜定位系统 误差分析和修正 原子操纵 |
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