| 镍对多弧离子镀制备的铬基金属衬底性能的影响 |
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| 引用本文： | 王古平,熊传兵,江风益.镍对多弧离子镀制备的铬基金属衬底性能的影响[J].稀有金属,2007,31(4):515-519. |
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| 作者姓名： | 王古平 熊传兵 江风益 |
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| 作者单位： | 南昌大学教育部发光材料与器件工程研究中心,江西,南昌,330047 |
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| 基金项目： | 国家新技术研究发展基金(863计划) |
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| 摘 要： | 利用多弧离子镀和选择腐蚀相结合的技术在Si（111）衬底上首次制备了具有择优取向的铬基金属衬底,该金属衬底具有与外延级硅衬底一致的表面粗糙度及平整度。采用SEM,EDX,XRD和显微硬度计对铬基金属衬底进行了表征。研究表明：镍铬共镀有利于获得（110）择优取向的铬基金属衬底,同时镍铬共镀对表面形貌、显微硬度、平整度均存在一定影响。
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| 关 键 词： | 多弧离子镀膜 铬基金属衬底 择优取向 表面粗糙度 |
| 文章编号： | 0258-7076（2007）04-0515-05 |
| 修稿时间： | 2007-01-24 |
Influence of Ni Element on Properties of Cr Based Metal Substrate Fabricated by Multi-Arc Ion Plating |
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| Wang Guping,Xiong Chuanbing,Jiang Fengyi.Influence of Ni Element on Properties of Cr Based Metal Substrate Fabricated by Multi-Arc Ion Plating[J].Chinese Journal of Rare Metals,2007,31(4):515-519. |
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| Authors: | Wang Guping Xiong Chuanbing Jiang Fengyi |
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| Affiliation: | Education Ministry Engineering Research Center For Luminescence Materials and Devices,Nanchang University,Nanchang 330147,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | multi-arc ion plating Cr-based metal substrate preferred orientation roughness of surface |
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