PECVD双镀膜技术优化分析

P型多晶硅电池采用等离子增强化学气相沉积法,为了优化双层镀膜结构,对镀膜工艺气体体积比例进行调节,增大了两次镀膜折射率差,使之获得对于光能转换的更大效率。通过试验分析了工艺变更后对电池电参数的影响。结果表明,在镀膜方式调整后,短路电流Isc得到了明显提升,反射率明显下降,镀膜颜色加深,太阳能电池转换效率提高了0.06%。