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杂志ISSN号
射频磁控溅射ITO薄膜对TOPCon太阳电池光电性能的影响
作者姓名:
郭永刚
王冬冬
陈丹
石惠君
张敏
李得银
摘 要:
通过射频(RF)磁控溅射分别在光学玻璃基底上和多晶硅薄膜层上沉积了氧化铟锡(ITO)薄膜,采用Hall效应测试仪测试了ITO薄膜的电阻率和载流子浓度等参数,研究溅射功率和溅射时间等参数对ITO薄膜的光电特性影响.测试多晶Si对称结构沉积ITO薄膜前后及退火后的隐开路电压和反向饱和电流密度等参数,研究ITO薄膜对n型晶硅...
关 键 词:
隧道氧化物钝化接触(TOPCon)太阳电池
射频(RF)磁控溅射
氧化铟锡(ITO)薄膜
多晶Si
退火
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