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| 射频磁控溅射ITO薄膜对TOPCon太阳电池光电性能的影响 | |
| 作者姓名： | 郭永刚 王冬冬 陈丹 石惠君 张敏 李得银 |
| 摘 要： | 通过射频(RF)磁控溅射分别在光学玻璃基底上和多晶硅薄膜层上沉积了氧化铟锡(ITO)薄膜,采用Hall效应测试仪测试了ITO薄膜的电阻率和载流子浓度等参数,研究溅射功率和溅射时间等参数对ITO薄膜的光电特性影响.测试多晶Si对称结构沉积ITO薄膜前后及退火后的隐开路电压和反向饱和电流密度等参数,研究ITO薄膜对n型晶硅... |
| 关 键 词： | 隧道氧化物钝化接触(TOPCon)太阳电池 射频(RF)磁控溅射 氧化铟锡(ITO)薄膜 多晶Si 退火 |