| 溶胶-凝胶法制备纳米二氧化硅溶胶和多孔二氧化硅薄膜 |
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| 引用本文： | 殷明志,姚熹,吴小清,汪敏强,张良莹.溶胶-凝胶法制备纳米二氧化硅溶胶和多孔二氧化硅薄膜[J].硅酸盐学报,2002,30(6):766-770. |
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| 作者姓名： | 殷明志 姚熹 吴小清 汪敏强 张良莹 |
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| 作者单位： | 西安交通大学电子材料及器件研究所,710049,西安 |
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| 基金项目： | 国家863项目(715002-0250)。 |
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| 摘 要： | 稀Na2SiO3溶液经过阳离子交换树脂除去Na^ 离子后，经碱化浓缩制成质量分数约为25％－30％的二氧化硅溶胶，添加化学添加剂丙三醇后加入乙酸乙酯，搅拌水解使溶解的pH值适当降低，聚乙烯醇能使二氧化硅溶胶具有网状结构，易于成膜。薄膜在750－850℃下热处理后孔径分布在100－300nm之间。二氧化硅薄膜在热处理过程中的微结构衍化过程可通过调节二氧化硅溶胶的pH值，添加化学添加剂和热处理温度加以控制。讨论了纳米二氧化硅胶粒溶胶的形成和形成的二氧化硅溶胶先体的成膜化学机理，并对制备的多孔二氧化硅薄膜的微结构，形貌变化和相关的物理性能进行了表征。
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| 关 键 词： | 溶胶－凝胶法 制备 纳米二氧化硅溶胶 多孔二氧化硅薄膜 |
| 文章编号： | 0454-5648(2002)06-0766-05 |
| 修稿时间： | 2001年11月28 |
MICROPOROUS SILICA FILMS DERIVED BY SOL-GEL GRANULAR SILICA SOL |
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| YIN Mingzhi,YIAO Xi,WU Xiaoqing,WANG Minqiang,ZHANG Liangying.MICROPOROUS SILICA FILMS DERIVED BY SOL-GEL GRANULAR SILICA SOL[J].Journal of The Chinese Ceramic Society,2002,30(6):766-770. |
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| Authors: | YIN Mingzhi YIAO Xi WU Xiaoqing WANG Minqiang ZHANG Liangying |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | silicate sol- gel colloidal silica sol microporous silica film |
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