| 磁控反应溅射不锈钢表面制备纳米TiO2薄膜及光催化活性研究 |
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| 引用本文： | 张宗权,袁胜利,杨宗立,季淑莉,张建民. 磁控反应溅射不锈钢表面制备纳米TiO2薄膜及光催化活性研究[J]. 功能材料, 2004, 35(2): 166-168 |
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| 作者姓名： | 张宗权 袁胜利 杨宗立 季淑莉 张建民 |
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| 作者单位： | 陕西师范大学,物理学与信息技术学院,陕西,西安,710062;陕西师范大学,物理学与信息技术学院,陕西,西安,710062;陕西师范大学,物理学与信息技术学院,陕西,西安,710062;陕西师范大学,物理学与信息技术学院,陕西,西安,710062;陕西师范大学,物理学与信息技术学院,陕西,西安,710062 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(50271038);陕西师范大学重点科研基金资助项目(SD200303) |
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| 摘 要： | 不锈钢箔片上溅射沉积25nm的钛底膜后，在工作真空0．9Pa．O2、Ar分压比1：6．基体温度270～280℃的条件下，用直流磁控反应溅射法制备了厚度约300nm的TiO2薄膜，并在420℃的氧气氛下进行热处理。XRD分析看出，薄膜为TiO2锐钛矿和金红石复合晶型。测算表明TiO2复合晶中锐钛矿质量含量约64％，其晶粒尺寸约14nm。用“弯曲法”测试表明，膜基结合力强。由对苯酚溶液的降解实验看出，制备光催化薄膜具有较好的光催化活性。
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| 关 键 词： | 磁控溅射 不锈钢 纳米TiO2薄膜 苯酚 |
| 文章编号： | 1001-9731(2004)02-0166-03 |
| 修稿时间： | 2003-12-05 |
Deposition of TiO2 film onto stainless steel by reactive magnetron sputtering and photocatalytic activity of TiO2 film |
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| ZHANG Zong-quan,YUAN Sheng-li,YANG Zong-li,JI Shu-li,ZHANG Jian-min. Deposition of TiO2 film onto stainless steel by reactive magnetron sputtering and photocatalytic activity of TiO2 film[J]. Journal of Functional Materials, 2004, 35(2): 166-168 |
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| Authors: | ZHANG Zong-quan YUAN Sheng-li YANG Zong-li JI Shu-li ZHANG Jian-min |
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| Keywords: | magnetron sputtering stainless steel TiO_2 film phenol |
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