| (Ba_(1-x)Sr_x)TiO_3薄膜的制备及性能的研究 |
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| 引用本文： | 刘梅冬,刘少波,曾亦可,李楚容,邓传益. (Ba_(1-x)Sr_x)TiO_3薄膜的制备及性能的研究[J]. 压电与声光, 2001, 0(1) |
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| 作者姓名： | 刘梅冬 刘少波 曾亦可 李楚容 邓传益 |
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| 作者单位： | 华中科技大学电子科学与技术系!武汉430074 |
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| 基金项目： | “八六三”计划新材料领域资助项目! (863 -715 -0 0 2 -0 10 0 ) |
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| 摘 要： | 选用 Ba(C2 H3O2 ) 2 、Sr(C2 H3O2 ) 2 · 1/ 2 H2 O和 Ti(OC4H9) 4为原材料 ,冰醋酸为催化剂 ,乙二醇乙醚为溶剂。用改进的溶胶 -凝胶技术在 Pt/ Ti/ Si O2 / Si基片上成功地制备出钙钛矿型结构的 (Ba1 - x Srx) Ti O3薄膜。该薄膜是制备铁电动态随机存取存储器、微波电容和非致冷红外焦平面阵列的优选材料 ;分析了薄膜的结构 ;测试了薄膜的介电和铁电性能。在室温 10 k Hz下 ,(Ba0 .73Sr0 .2 7) Ti O3薄膜介电系数和损耗分别为 30 0和 0 .0 3。在室温 1k Hz下 ,(Ba0 .95 Sr0 .0 5 ) Ti O3薄膜剩余极化强度和矫顽场分别为 3μC/ cm2和 5 0 k V/ c
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| 关 键 词： | 铁电薄膜 (Ba1-xSrx)TiO3 溶胶-凝胶 |
The Preparation and Properties of (Ba_(1-x)Sr_x)TiO_3 Thin Films |
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| LIU Mei dong,LIU Shao bo,ZENG Yi ke,LI Chu rong,DENG Chuan yi. The Preparation and Properties of (Ba_(1-x)Sr_x)TiO_3 Thin Films[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2001, 0(1) |
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| Authors: | LIU Mei dong LIU Shao bo ZENG Yi ke LI Chu rong DENG Chuan yi |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ferroelectric thin films (Ba 1- x Sr x )TiO 3 Sol Gel |
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