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MEMS惯性技术的发展及应用
引用本文:齐广峰,吕军锋.MEMS惯性技术的发展及应用[J].电子设计工程,2015(1):87-89,92.
作者姓名:齐广峰  吕军锋
作者单位:1. 海军装备部 陕西 西安 710043
2. 北方光电股份有限公司 陕西 西安 710043
摘    要:MEMS惯性技术是近年来战术级惯性导航的研究热点,也是惯性导航技术未来的主要发展方向之一。本文介绍了MEMS惯性传感器的发展概况,结合Draper实验室的MEMS惯性系统项目计划介绍了MEMS惯性系统的发展,分别介绍了MEMS惯性测量单元和MEMS组合导航技术的最新进展,并展望了MEMS惯性系统的发展趋势。高性能MEMS陀螺、芯片级MEMS-IMU和MEMS组合导航系统是MEMS惯性技术未来的发展趋势。

关 键 词:微机电系统  惯性测量单元  惯性导航系统  组合导航

Evolution and application of MEMS inertial technology
QI Guang-feng,LV Jun-feng.Evolution and application of MEMS inertial technology[J].Electronic Design Engineering,2015(1):87-89,92.
Authors:QI Guang-feng  LV Jun-feng
Affiliation:QI Guang-feng;LV Jun-feng;Naval Equipment Department;North Electro-optic co.,LTD;
Abstract:
Keywords:MEMS  IMU  INS  integrated navigation
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