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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
兆位级DRAM掩模版的检测技术
作者姓名:
邓君龙
胡道媛
凌静珍
作者单位:
中国华晶电子集团公司中央研究所!无锡,214035,中国华晶电子集团公司中央研究所!无锡,214035,中国华晶电子集团公司中央研究所!无锡,214035
摘 要:
针对华晶科研所设计的JSC71095CFAR电路来阐述兆位级DRAM掩模版的质量要求,从而建立兆位级掩模版检测程序,以及切实有效的质量参数指标。并重点描述掩模版“0”缺陷的实现和CD尺寸、套准精度的测试技术及SPC质量统计技术。
关 键 词:
定义缺陷
CD尺寸
DRAM掩模版
缺陷检测技术
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