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| 兆位级DRAM掩模版的检测技术 | |
| 作者姓名： | 邓君龙 胡道媛 凌静珍 |
| 作者单位： | 中国华晶电子集团公司中央研究所!无锡，214035，中国华晶电子集团公司中央研究所!无锡，214035，中国华晶电子集团公司中央研究所!无锡，214035 |
| 摘 要： | 针对华晶科研所设计的JSC71095CFAR电路来阐述兆位级DRAM掩模版的质量要求，从而建立兆位级掩模版检测程序，以及切实有效的质量参数指标。并重点描述掩模版“0”缺陷的实现和CD尺寸、套准精度的测试技术及SPC质量统计技术。 |
| 关 键 词： | 定义缺陷 CD尺寸 DRAM掩模版 缺陷检测技术 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |