薄膜金属腐蚀及相关工艺研究

本文以实验为基础，给出了各种金属的腐蚀液及其配比，得到了各种金属腐蚀参数，同时揭示了腐蚀过程中存在的问题及相关工艺对金属腐蚀的影响，并进行了分析。