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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
等倾干涉仪的机器视觉自动化改造
作者姓名:
汤昌社
周建友
作者单位:
广东省计量科学研究院
摘 要:
用传统等倾干涉仪测量平晶平面度,需靠肉眼从目镜观察,通过旋转测微鼓轮在分划板反复压线估读干涉环直径,这样做不仅准确度低,而且工作强度大、效率低。用机器视觉与计算机技术能解决以上问题:计算机对电荷耦合器(CCD)采集的干涉图进行处理,再同时测量多条干涉同心环直径并计算标准干涉环直径风;遍历所有检定点后。计算机通过数据处理自动得到各检定点的平面度数值。
关 键 词:
干涉仪
机器视觉
自动化
效率
工作强度
直径
干涉环
估读
压线
分划板
鼓轮
测微
旋转
目镜
肉眼
平面度
平晶
测量
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