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| 关于IMS—3f二次离子质谱仪功能键的故障排除 | |
| 作者姓名： | 赵梦璧 |
| 作者单位： | 中国精华电子集团公司 |
| 摘 要： | l前言1985年由法国卡梅卡公司引进了应用于半导体生产分析的IMS－3f二次离子质谱仪，1986年4月调机使用，在1990年前国内尚有一个维修站，有了问题找他们来帮助解决，在1990年以后维修站撤消了，这给维修带来很大困难，大大影响了SIMS工作。出了问题如果从国外请人来修，一是耽误时间，二是费用昂贵，经济上难以承担。基于这种现状，有些故障我们依靠自己的力量，通过认真、细致的工作，得以排除。本文就以最近排除计算机MASS功能键失常的故障为例，谈谈自己的做法和几点体会。2故障现象机器开启后再起动计算机，显示屏原应显示：MASS… |
| 关 键 词： | 二次离子质谱仪 离子质谱仪 质谱仪 故障 |
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