扩散泵振动对SEM的影响与消除振动

就扩散泵而言无振动、无噪声一直被认为是它的优点。但扩散泵的振动确实给扫抽电子显微镜带来了麻烦,使两万倍以上的图像边缘出现毛刺,影响了电镜的质量。实验发现振动是由于泵体与泵芯接触和固定不实引起的。此时在工作油蒸汽的冲击下使扩散泵产生振动:垂直方向振动频率为20Hz,振幅在1μm量级;水平方向振动频率为100Hz,振幅在10~(-2)μm量级。为克服振动提出了改进意见。