摘 要: | 2009年9月26日,国务院颁发了《关于抑制部分行业产能过剩和重复建设 引导产业健康发展的若干意见》。该文件要求:多晶硅生产过程中还原尾气中四氯化硅(SiCl4)、氯化氢(HCl)、氢气(H2)的回收利用率不得低于98.5%、99%、99%。这使得多晶硅生产行业面临一个新的问题——对还原尾气中上述组分的回收利用率进行规定和检测评价,即如何对多晶硅生产企业还原尾气中的SiCl4、HCl、H2回收利用率进行检测评价。四川新光硅业科技有限责任公司(以下简称新光硅业)是我国起步较早的多晶硅企业之一,2007年成立了我国第一条千吨级多晶硅生产示范线。本文结合该公司现有工艺和多年的生产经验,对还原尾气中主要组分回收利用率的检测评价方法进行探讨。
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