多晶硅还原尾气回收利用率检测评价方法

2009年9月26日,国务院颁发了《关于抑制部分行业产能过剩和重复建设 引导产业健康发展的若干意见》。该文件要求:多晶硅生产过程中还原尾气中四氯化硅（SiCl₄）、氯化氢（HCl）、氢气（H₂）的回收利用率不得低于98.5%、99%、99%。这使得多晶硅生产行业面临一个新的问题——对还原尾气中上述组分的回收利用率进行规定和检测评价,即如何对多晶硅生产企业还原尾气中的SiCl₄、HCl、H₂回收利用率进行检测评价。四川新光硅业科技有限责任公司（以下简称新光硅业）是我国起步较早的多晶硅企业之一,2007年成立了我国第一条千吨级多晶硅生产示范线。本文结合该公司现有工艺和多年的生产经验,对还原尾气中主要组分回收利用率的检测评价方法进行探讨。