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| 硅基压电悬臂梁式微麦克风的设计与优化 | |
| 作者姓名： | 方华军 刘理天 任天令 |
| 作者单位： | 清华大学,微电子学研究所,北京,100084 清华大学,微电子学研究所,北京,100084 清华大学,微电子学研究所,北京,100084 |
| 摘 要： | 设计了一种硅基PZT压电悬臂梁式微麦克风.这种微麦克风采用压电多层膜悬臂梁作为声压感受器件,采用有限元耦合场分析的方法对压电复合膜悬臂梁进行了有限元分析和模拟,研究了压电复合多层膜悬臂梁的结构参数与力学性能的关系,分析了影响微麦克风机电性能的多种因素,给出了优化的器件结构和工艺流程. |
| 关 键 词： | 微麦克风 PZT 压电悬臂梁 |
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