| 利用计量型原子力显微镜进行两维纳米格栅的测量 |
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| 引用本文： | 高思田,杜华,卢明臻,崔建军. 利用计量型原子力显微镜进行两维纳米格栅的测量[J]. 计量学报, 2006, 27(Z1): 6-10 |
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| 作者姓名： | 高思田 杜华 卢明臻 崔建军 |
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| 作者单位： | 1. 中国计量科学研究院,北京,100013
2. 清华大学,北京,100084 |
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| 摘 要： | 二维纳米格栅是纳米测量仪器的重要校准标准之一,也是国际计量局长度咨询委员会(BIPM/CCL)组织的五种纳米计量标准比对项目之一.计量院研制的计量型原子力显微镜在x,y,z三个方向固接有无阿贝误差布局的激光干涉仪,干涉仪的激光光源用碘稳频激光进行了校准,使得二维纳米格栅的测量结果可以直接溯源到米定义SI单位.使用高斯滤波器对测量数据进行了预处理,并研究了重心法二维格栅间距与夹角的计算方法.最后根据不确定度分析导则给出了格栅测量的不确定度评定分析.
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| 关 键 词： | 计量学 纳米计量 原子力显微镜 两维格栅 栅距 测量不确定度 |
| 文章编号： | 1000-1158(2006)3A-0006-05 |
| 修稿时间： | 2006-06-09 |
Two-dimensional Nanometer Scale Gratings Measurement by Metrological Atomic Force Microscope |
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| GAO Si-tian,DU Hua,LU Ming-zhen,CUI Jian-jun. Two-dimensional Nanometer Scale Gratings Measurement by Metrological Atomic Force Microscope[J]. Acta Metrologica Sinica, 2006, 27(Z1): 6-10 |
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| Authors: | GAO Si-tian DU Hua LU Ming-zhen CUI Jian-jun |
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