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TFSOI/CMOS ESD研究
引用本文:刘文安,罗来华,赵文魁,沈文正. TFSOI/CMOS ESD研究[J]. 微电子学与计算机, 2000, 17(6): 36-39
作者姓名:刘文安  罗来华  赵文魁  沈文正
作者单位:西安微电子技术研究所,西安,710054
摘    要:文章讨论了TFSOI/CMOS中ESD电路与常见体硅ESD电路的主要区别,详细分析了ESD电路中各个组成部分对整体性能的影响,成功地研制了抗2000V静电的ESD保护电路,指出了进一步提高TFSOI/CMOS ESD抗静电能力的途径。

关 键 词:ESD  栅控二极管  TFSOI  CMOS  保护电路
修稿时间:2000-01-25

Study of TFSOI/CMOS ESD
LIU Wen-an,LUO Lai-hua,ZHAO Wen-kui,SHENG Wen-zheng. Study of TFSOI/CMOS ESD[J]. Microelectronics & Computer, 2000, 17(6): 36-39
Authors:LIU Wen-an  LUO Lai-hua  ZHAO Wen-kui  SHENG Wen-zheng
Abstract:
Keywords:ESD
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