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| 在硅微尖上生长金刚石膜的研究 | |
| 作者姓名： | 元光 金亿鑫 金长春 宋航 张宝林 宁永强 蒋红 周天明 李树伟 |
| 作者单位： | 中国科学院长春物理研究所 |
| 摘 要： | 利用微波等离子体方法在硅微尖阵列上生长了金刚石膜，并利用SEM和X射线衍射对金刚石膜进行了研究． |
| 关 键 词： | 硅微尖 金刚石膜 硅 生长 |
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