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| ZnS基底沉积类金刚石薄膜研究 | |
| 引用本文： | 黄光伟,谢启明,李向东,白杨.ZnS基底沉积类金刚石薄膜研究[J].新技术新工艺,2014(6). |
| 作者姓名： | 黄光伟 谢启明 李向东 白杨 |
| 作者单位： | 云南北方驰宏光电有限公司;中国兵器工业新技术推广研究所; |
| 摘 要： | 针对不能直接在红外光学材料ZnS基底上沉积类金钢石薄膜(下述简称DLC膜)的问题,介绍了在红外光学材料ZnS基底上沉积DLC膜的方法,指出了采用在ZnS基底表面镀制DLC膜的方法,来解决在ZnS基底表面上镀制高效增透膜后,其膜层耐磨强度不足以抵抗恶劣环境的缺点;同时,通过膜系优化设计,利用镀制组合膜层的方法来降低其单面反射率,可改善光学系统的成像质量。 |
| 关 键 词： | 类金刚石薄膜 红外光学 硫化锌 反射率 |
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