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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
ZnS基底沉积类金刚石薄膜研究
作者姓名:
黄光伟
谢启明
李向东
白杨
作者单位:
云南北方驰宏光电有限公司;中国兵器工业新技术推广研究所;
摘 要:
针对不能直接在红外光学材料ZnS基底上沉积类金钢石薄膜(下述简称DLC膜)的问题,介绍了在红外光学材料ZnS基底上沉积DLC膜的方法,指出了采用在ZnS基底表面镀制DLC膜的方法,来解决在ZnS基底表面上镀制高效增透膜后,其膜层耐磨强度不足以抵抗恶劣环境的缺点;同时,通过膜系优化设计,利用镀制组合膜层的方法来降低其单面反射率,可改善光学系统的成像质量。
关 键 词:
类金刚石薄膜
红外光学
硫化锌
反射率
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