| 基于聚酰亚胺的温湿压集成传感器 |
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| 引用本文： | 武宇,赵湛,方震,张博军. 基于聚酰亚胺的温湿压集成传感器[J]. 仪器仪表学报, 2004, 25(Z3): 101-103 |
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| 作者姓名： | 武宇 赵湛 方震 张博军 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100080;中国科学院研究生院,北京,100039
2. 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100080 |
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| 基金项目： | 中国科学院微系统创新项目资助. |
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| 摘 要： | 微型化、集成化可以使得传感系统减少体积、重量,降低成本,提高系统的可靠性,具有重要的科学意义.基于聚酰亚胺材料,利用MEMS技术,设计了一个用于测量大气湿度、温度和气压检测的微型集成传感器.分别采用湿敏电容、铂电阻法和聚酰亚胺薄膜对湿度、温度、压力进行检测,并且进行了理论计算,设计了加工工艺步骤,制作出雏形器件.
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| 关 键 词： | 集成传感器 MEMS 聚酰亚胺 湿 度 气 压 |
Integrated Sensor of Temperature Humidity and Pressure Based on Polyimide |
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| Wu Yu,Zhao Zhan,FANG Zhen,Zhang Bojun. Integrated Sensor of Temperature Humidity and Pressure Based on Polyimide[J]. Chinese Journal of Scientific Instrument, 2004, 25(Z3): 101-103 |
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| Authors: | Wu Yu Zhao Zhan FANG Zhen Zhang Bojun |
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