|
|||||
|
|
| 准分子激光光致抗蚀剂 | |
| 引用本文： | 徐京生.准分子激光光致抗蚀剂[J].化工新型材料,1991(4). |
| 作者姓名： | 徐京生 |
| 摘 要： | 三菱化成公司已着手开发16M、64MbitDRAM生产用光致抗蚀剂。该公司打算开发一种可用准分子激光分步重复曝光装置的光致抗蚀剂,准备研究光敏剂与树脂的合成对光致抗蚀剂粘度的影响。该公司还计划到1991年将其在福冈县的 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
|
||||||||||||||||
|
||||||||||||||||
|
||||||||||||||||
|
|
|
|
| 设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏 |
|
Copyright©北京勤云科技发展有限公司 京ICP备09084417号 |