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| 可伐预氧化工艺因素对金属-玻璃封接气密性的影响 | |
| 引用本文： | 曹闰.可伐预氧化工艺因素对金属-玻璃封接气密性的影响[J].混合微电子技术,2005,16(3):58-62. |
| 作者姓名： | 曹闰 |
| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第43研究所,合肥230022 |
| 摘 要： | 本文在不同氧化工艺、相同熔封工艺条件下制作金属-玻璃外壳，并模拟外壳实际应用情况对其气密性进行了考核，分析了工艺因素对可伐预氧化及其对金属外壳气密性的影响。实验结果表明，可伐合金在N2＋H2O混合气氛下氧化随时间遵循抛物线的增重规律，在850℃、N2＋H2O混合气、氧化10-30分钟，外壳均可获得较高的气密可靠性。 |
| 关 键 词： | 可伐 预氧化 气密性 金属-玻璃 金属外壳 可伐合金 工艺因素 玻璃封接 玻璃外壳 混合气氛 |
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