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基于随机微透镜列阵的激光光束匀化方法
引用本文:曹阿秀,史立芳,余金清,庞辉,张满,邓启凌. 基于随机微透镜列阵的激光光束匀化方法[J]. 应用激光, 2015, 35(1): 124-128
作者姓名:曹阿秀  史立芳  余金清  庞辉  张满  邓启凌
作者单位:曹阿秀:中国科学院光电技术研究所, 四川 成都 610209
史立芳:中国科学院光电技术研究所, 四川 成都 610209
余金清:中国科学院光电技术研究所, 四川 成都 610209
庞辉:中国科学院光电技术研究所, 四川 成都 610209
张满:中国科学院光电技术研究所, 四川 成都 610209
邓启凌:中国科学院光电技术研究所, 四川 成都 610209
基金项目:四川省科技计划项目应用基础计划资助项目(项目编号: A14K012); 西部之光
摘    要:利用微透镜列阵实现光束的分割和叠加是一种典型的光束匀化方法。而在微透镜列阵实现激光光束匀化时,由于微透镜列阵的周期性和激光的相干性,匀化光斑会产生周期性点阵分布现象,降低了光束匀化质量。提出一种利用中心离轴型随机微透镜列阵消除点阵效应以实现激光光束的匀化方法。在分析光束经过微透镜列阵的传播特性基础上,设计列阵中各个子透镜单元的几何中心偏离其光轴,利用中心离轴量的随机性打破微透镜列阵的周期性,消除目标面处的点阵现象,实现高均匀性的光斑分布。采用移动掩模技术制备随机微透镜列阵,并开展激光光束匀化实验。结果表明,该方法能够有效提高激光光束的均匀性,有望在激光加工、医疗和照明等方向有较大的应用前景。

关 键 词:光学  光束匀化  随机微透镜列阵  激光
收稿时间:2014-08-26

Laser Beam Homogenization Method Based on Random Microlens Array
Cao Axiu;Shi Lifang;Yu Jinqing;Pang Hui;Zhang Man;Deng Qiling. Laser Beam Homogenization Method Based on Random Microlens Array[J]. Applied Laser, 2015, 35(1): 124-128
Authors:Cao Axiu  Shi Lifang  Yu Jinqing  Pang Hui  Zhang Man  Deng Qiling
Affiliation:Cao Axiu;Shi Lifang;Yu Jinqing;Pang Hui;Zhang Man;Deng Qiling;Institute of Optics and Electronics,Chinese Academy of Sciences;
Abstract:
Keywords:optical  beam homogenization  random micro lens array  laser
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