| 钛基体晶粒细化对阳极氧化 TiO2 纳米管阵列层的影响 |
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| 引用本文： | 胡 楠,傅劲裕. 钛基体晶粒细化对阳极氧化 TiO2 纳米管阵列层的影响[J]. 集成技术, 2018, 7(1): 34-42 |
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| 作者姓名： | 胡 楠 傅劲裕 |
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| 作者单位： | 深圳市中科摩方科技有限公司 深圳 518114 中国科学院深圳先进技术研究院 深圳 518055,深圳市中科摩方科技有限公司 深圳 518114 |
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| 基金项目： | 深圳市海外高层次人才孔雀团队项目(KQTD2016030111500545)；中国博士后科学基金会与中国科学院联合资助优秀博士后项目(2017LH039) |
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| 摘 要： | 为更加精确地控制阳极氧化制备二氧化钛纳米管(Titanium Dioxide Nanotubes，TNT)阵列层的尺寸，采用高压扭转加工(10 转)，使粗晶粒钛(13 μm)转变为超细晶粒钛(135 nm)，再采用两步阳极氧化法(30 V 直流电，时间 16 h、6 h)在两种钛试样上制备二氧化钛纳米管阵列层。金相、透射电镜、扫描电镜观察和接触角测试结果表明，高压扭转加工造成的晶粒细化使 TNT 阵列层更厚、管径更均匀，也改变了 TNT 阵列层的形貌，使接触角增大。该实验还探讨了两步氧化法提高 TNT 阵列层质量和晶粒细化影响 TNT 阵列层结构和润湿性的机理。
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| 关 键 词： | 阳极氧化；二氧化钛纳米管阵列；高压扭转；超细晶钛 |
| 收稿时间： | 2017-10-11 |
| 修稿时间： | 2017-12-06 |
Influence of Grain Refinement of Ti Substrates on TiO2 Nanotube ArraysFabricated Through Anodization |
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| HU Nan and FU Jinyu. Influence of Grain Refinement of Ti Substrates on TiO2 Nanotube ArraysFabricated Through Anodization[J]. , 2018, 7(1): 34-42 |
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| Authors: | HU Nan and FU Jinyu |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | anodization TiO2 nanotubes high pressure torsion ultra-fine-grained titanium |
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