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二维精密气浮运动平台控制系统稳定性研究
作者单位:;1.广东工业大学机电工程学院
摘    要:二维精密气浮运动平台采用直接驱动进给和气浮导轨支承技术,不仅需要有较高的定位精密、运动速度和定位加速度,而且要求直接驱动伺服系统具有足够的稳定裕度。根据自动控制原理,对系统参数进行了分析,并完成了参数修正,论文利用Matlab语言和Simulink软件对X轴控制器电流环、速度环、位置环进行建模仿真研究,验证了二维气浮运动平台控制系统是稳定的,且有足够的稳定裕度。建立了实验单元,通过控制器参数整定软件PMAC Tuning PRO2调节PID参数,完成参数优化。实验表明平台控制系统是稳定的,优化PID参数能使系统更快到达稳定状态。

关 键 词:二维运动平台  直线驱动  PMAC  稳定性

The Research of Control System Stability of Two-Dimensional Precision Areostatic Bearing Stage
Abstract:
Keywords:
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