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| 宏微复合平台的微运动动态模型研究 | |
| 作者单位： | ;1.广东工业大学机电工程学院机械装备制造与控制技术教育部重点实验室 |
| 摘 要： | 宏微复合平台常应用于大行程运动和高精度定位的场合。基于对宏微复合驱动技术的的分析及研究,提出了一种音圈电机与压电陶瓷复合驱动的宏微复合运动平台结构,其中微运动平台采用压电陶瓷驱动和弹簧预紧,具有结构简单、分辨率高、刚度高和响应速度快等优点。针对微运动平台的主动控制问题,考虑压电陶瓷驱动器驱动电路以及滑块与摩擦复合作用的影响,建立微运动平台动态模型。通过微运动平台动态特性的实验研究,分析滑块与摩擦复合作用对微运动平台平稳性的影响。结果表明,该模型可快速缩短平台到达稳定的时间,满足平台精密定位要求。 |
| 关 键 词： | 宏微复合平台 微运动平台 压电陶瓷驱动器 动态模型 |
Research of Dynamic Modeling in the Micro-Motion by Macro-Micro Composite Motion Stage |
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