| X射线超反射镜设计 |
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| 引用本文： | 张众,王占山,王风丽,秦树基,陈玲燕.X射线超反射镜设计[J].光学精密工程,2003,11(1):49-54. |
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| 作者姓名： | 张众 王占山 王风丽 秦树基 陈玲燕 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130022;同济大学,精密光学工程技术研究所,上海,200092
2. 同济大学,精密光学工程技术研究所,上海,200092 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 (No .6 01780 2 1) |
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| 摘 要： | 阐述了一种新的X射线超反射镜的设计方法,它是基于经验理论公式的解析设计方法和基于计算机的数值优化设计方法相结合的产物。利用前者提供比较好的初始膜系,再利用后者对该初始膜系进行优化处理,从而获得比较好的设计结果,并大大减少了计算时间。讨论了实际制作出的多层膜存在的表面粗糙度及膜层材料间的相互扩散对多层膜反射性能的影响,并给出了模拟计算的结果。依据上述方法,在比较大的掠入射角情况下,设计出了具有较宽反射带宽的W/CX射线超反射镜。
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| 关 键 词： | X射线超反射镜 梯度多层膜 单纯形调优 |
| 文章编号： | 1004-924X(2003)01-0049-06 |
| 收稿时间： | 2002/9/17 |
| 修稿时间： | 2002年9月17日 |
Design of X-ray supermirrors |
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| ZHANG Zhong ,WANG Zhan-shan ,WANG Feng-li ,QIN Shu-ji ,CHEN Ling-yan.Design of X-ray supermirrors[J].Optics and Precision Engineering,2003,11(1):49-54. |
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| Authors: | ZHANG Zhong WANG Zhan-shan WANG Feng-li QIN Shu-ji CHEN Ling-yan |
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| Affiliation: | ZHANG Zhong 1,2,WANG Zhan-shan 2,WANG Feng-li 2,QIN Shu-ji 2,CHEN Ling-yan 2 |
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| Abstract: | A new method of designing X-ray supermirrors based semi-empirical formulas and optimization by computer has been proposed to produced an optimized be tter initial multilayer in dramatically reduced computational time. The saturation effect of interfacial roughness of mu ltilayers actually produced in X-ray supermirrors on per formance of multilayers is further discussed with simulated results. W/C X-ray supermirrors with wider sp ecial band of reflection have been designed using the proposed method for a grea ter grazing incident angle. |
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| Keywords: | X-ray supermirror multilayer simplex optimization |
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