| 微颗粒表面磁控溅射镀金属膜 |
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| 引用本文： | 俞晓正,徐政,沈志刚.微颗粒表面磁控溅射镀金属膜[J].过程工程学报,2006,6(Z2):173-178. |
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| 作者姓名： | 俞晓正 徐政 沈志刚 |
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| 作者单位： | 1. 北京航空航天大学粉体技术北京市重点实验室,北京,100083;国家纳米技术产业化基地,天津,300457
2. 北京有色金属研究总院,北京,100088 |
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| 基金项目： | 航空基础科学基金
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北京市教委共建项目 |
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| 摘 要： | 采用磁控溅射方法,开展了在微颗粒表面镀金属膜的实验研究.研究开发了一种在微颗粒表面真空镀金属膜的方法及设备,微颗粒包括空心微珠、不同粒度的碳化硅微粉等,所镀的金属包括铝、银、铜、钴、镍等.实验与分析结果表明,通过控制微颗粒的运动方式,采用磁控溅射镀金属膜,可以在微颗粒表面镀上均匀性好、附着力强和致密性好的金属膜.
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| 关 键 词： | 微颗粒 磁控溅射 金属膜 表面形貌 |
| 文章编号： | 1009-606X(2006)S2-0173-06 |
| 修稿时间： | 2006年8月17日 |
Preparation and Characterization of Metal-coated Micro-particles by Magnetron Sputtering |
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| YU Xiao-zheng,XU Zheng,SHEN Zhi-gang.Preparation and Characterization of Metal-coated Micro-particles by Magnetron Sputtering[J].Chinese Journal of Process Engineering,2006,6(Z2):173-178. |
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| Authors: | YU Xiao-zheng XU Zheng SHEN Zhi-gang |
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| Abstract: | |
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