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| 间隙对涡轮分子泵抽气特性影响的蒙特卡罗模拟 | |
| 引用本文： | 施立群,陈长琦.间隙对涡轮分子泵抽气特性影响的蒙特卡罗模拟[J].真空,1995(4). |
| 作者姓名： | 施立群 陈长琦 |
| 作者单位： | 合肥工业大学 |
| 摘 要： | 本文建立了包括间隙泄漏在内的涡轮叶片三维分子动力学抽气模型．运用ＭｏｎｔｅＣａｒｌｏ方法计算单叶列的抽气性能，研究了涡轮分子泵中运动叶列顶端与泵壁间的间隙泄漏效果．计算结果展示出间隙相对叶列长度的大小（间隙比）对压缩比有很大影响，尤其是在高的叶列运动速度和重分子量气体下抽气．间隙效果对抽速影响较小． |
| 关 键 词： | 蒙特卡罗模拟，涡轮分子泵，间隙 |
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