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上海光机所将时域散斑技术运用于大尺寸光学元件测量
摘 要:
<正>中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室周常河课题组近期将双目测量和时域散斑技术相结合,应用于300 mm口径大尺寸透镜毛坯测量,成功重建出透镜毛坯表面的三维形貌。该方法实现了大尺寸透镜的快速、低成本测量。大尺寸光学元件,尤其是非球面元件,被广泛运用在大型激光装置,例如"神光" II综合实验激光装置中。在元件的
关 键 词:
上海光学精密机械研究所
光电技术
大尺寸
测量
光学元件
散斑
时域
光机
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