| 微通道板清洗设备研制 |
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| 引用本文： | 严诚,王益军,张正君,苏德坦,丛晓庆,王锐廷.微通道板清洗设备研制[J].半导体技术,2008,33(3):208-211. |
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| 作者姓名： | 严诚 王益军 张正君 苏德坦 丛晓庆 王锐廷 |
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| 作者单位： | 北方夜视技术股份有限公司,北京,100089;成阳师范学院物理系,陕西,咸阳,712000;北京七星华创电子股份有限公司,北京,100016 |
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| 摘 要： | 基于微通道板的清洗工艺,设计了清洗设备的结构,并对设备的核心部件详细说明.利用液体射流喷射实现喷淋清洗,采用液体液下喷射循环实现液体的紊流,减少了搅动和传动系统为系统带来的复杂性.利用超声和兆声双频率清洗实现了对MCP不同粒径腐蚀产物和污染物的清洗,工作槽斜底式设计和频率扫描改进槽内声场的均匀性,功率精度达到±10%.储液槽预热结合在线加热,使液体温度精度达±0.5℃,改善了MCP清洗主要工艺参数的稳定性和一致性,体现了湿法清洗的独创性和实用性,实现了清洗工艺过程的半自动化.
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| 关 键 词： | 微通道板 湿法清洗 工艺模块 设备研制 |
| 文章编号： | 1003-353X（2008）03-0208-04 |
| 收稿时间： | 2008-01-03 |
| 修稿时间： | 2008年1月3日 |
Development of Cleaning Equipment for Microchannel Plate |
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| Yan Cheng,Wang Yijun,Zhang Zhengjun,Su Detan,Cong Xiaoqing,Wang Ruiting.Development of Cleaning Equipment for Microchannel Plate[J].Semiconductor Technology,2008,33(3):208-211. |
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| Authors: | Yan Cheng Wang Yijun Zhang Zhengjun Su Detan Cong Xiaoqing Wang Ruiting |
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| Affiliation: | Yan Cheng1,Wang Yijun2,Zhang Zhengjun1,Su Detan1,Cong Xiaoqing1,Wang Ruiting3(1.North Night Vision Technology Co.,Ltd.,Beijing 100089,China,2.Dept.of Physics,Xianyang NormalCollege,Xianyang 712000,3.Beijing Sevenstar Huachuang Electronic Co.,Beijing 100016,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MCP(microchannel plate) wet cleaning process module equipment R&D |
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